搬送前に、外装の埃や不純物を除去することで、材料パッケージの表面を浄化します。これにより、汚染物質がクリーン生産エリアに侵入するのを防ぎ、クリーンルームの安定した圧力と環境の清浄度を確保します。
外装パッケージの除塵と紫外線殺菌を統合的に行います。表面の埃を除去すると同時に微生物を除去し、材料移送前の重要な前処理を実現します。
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